JB/T 2965-1992 溅射离子泵性能测试方法
标准名称：溅射离子泵性能测试方法
发布日期：1992-12-24
实施日期：1993-07-01
标准编号：JB/T 2965-1992
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
JB/T 2965-1992 溅射离子泵性能测试方法
标准编号：JB/T 2965-1992
规范名称：溅射离子泵性能测试方法
适用范围：
本标准规定了溅射离子泵性能测试方法。
本标准适用于抽速大于10Ls(-1)的离子泵。
批准发布部门：机械工业部行业分类无
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