JB/T 4082-1991 溅射离子泵技术条件
标准名称：溅射离子泵技术条件
发布日期：1991-07-22
实施日期：1992-07-01
标准编号：JB/T 4082-1991
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
JB/T 4082-1991 溅射离子泵技术条件
标准编号：JB/T 4082-1991
规范名称：溅射离子泵技术条件
适用范围：
u3000u3000本标准规定了普通型式溅射离子泵的技术要求、检验规则、试验方法、包装、贮存等。u3000u3000本标准适用于JB/T 4081所规定的二级型（L型）和三极型（3L型）的溅射离子泵。
批准发布部门：机械电子工业部行业分类无
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