JB/T 4081-1991 溅射离子泵型式与基本参数
标准名称:溅射离子泵型式与基本参数
发布日期:1991-07-22
实施日期:1992-07-01
标准编号:JB/T 4081-1991
标准状态:现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式:PDF电子版
标准编号:JB/T 4081-1991
规范名称:溅射离子泵型式与基本参数
适用范围:
u3000u3000本标准规定了普通型式的溅射离子泵的型式与基本参数。u3000u3000本标准适用于二电位的二极型和三极型溅射子泵。
批准发布部门:机械电子工业部行业分类无