SJ/T 11185-1998 蒸发镀膜设备通用规范
标准名称：蒸发镀膜设备通用规范
发布日期：1998-03-11
实施日期：1998-05-01
标准编号：SJ/T 11185-1998
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
SJ/T 11185-1998 蒸发镀膜设备通用规范
标准编号：SJ/T 11185-1998
规范名称：蒸发镀膜设备通用规范
适用范围：
本标准规定了蒸发镀膜设备的分类与型号命名、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于极限压力为3×10^(-3)Pa～5×10^(-6)pa范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设备。
批准发布部门：电子工业部行业分类无
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