SJ/T 11131-1997 蒸发镀膜设备基本参数系列
标准名称：蒸发镀膜设备基本参数系列
发布日期：1997-09-02
实施日期：1998-01-01
标准编号：SJ/T 11131-1997
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
SJ/T 11131-1997 蒸发镀膜设备基本参数系列
标准编号：SJ/T 11131-1997
规范名称：蒸发镀膜设备基本参数系列
适用范围：
本标准规定了蒸发镀膜设备基本参数系列。本标准适用于极限压力为3×10^(-3)P|(a)～5×10^(-6)P|(a)范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设备。
批准发布部门：电子工业部行业分类无
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