JB/T 5629-1991 半导体器件烧结炉能耗分等
标准名称:半导体器件烧结炉能耗分等
发布日期:1991-08-27
实施日期:1992-07-01
标准编号:JB/T 5629-1991
标准状态:现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式:PDF电子版
标准编号:JB/T 5629-1991
规范名称:半导体器件烧结炉能耗分等
适用范围:
本标准规定了半导体器件烧结炉能耗分等。本标准适用于电子工业企业半导体器件容量大于或等于20kM的烧结炉(以下简称烧结炉),单台或炉群。
批准发布部门:机械电子工业部行业分类无