JB/T 5631-1991 半导体器件外延炉能耗分等
标准名称：半导体器件外延炉能耗分等
发布日期：1991-08-27
实施日期：1992-07-01
标准编号：JB/T 5631-1991
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
JB/T 5631-1991 半导体器件外延炉能耗分等
标准编号：JB/T 5631-1991
规范名称：半导体器件外延炉能耗分等
适用范围：
本标准规定了半导体器件外延炉（以下简称外延炉）能耗分等。本标准适用于电子工业企业外延炉。
批准发布部门：机械电子工业部行业分类无
*特别声明：资源收集自网络或用户上传，本网站所提供的电子文本仅供参考，请以正式出版物为准。电子文本仅供个人标准化学习、研究使用，不得复制、发行、汇编、翻译或网络传播等。如有侵权，请联系我们处理。