T/CASAS 026-2023 碳化硅少数载流子寿命测定微波光电导衰减法
标准名称：碳化硅少数载流子寿命测定微波光电导衰减法
发布日期：2023-06-19
实施日期：2023-06-19
标准编号：T/CASAS 026-2023
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
T/CASAS 026-2023 碳化硅少数载流子寿命测定微波光电导衰减法
标准编号：T/CASAS 026-2023
规范名称：碳化硅少数载流子寿命测定微波光电导衰减法
该国家标准描述了用微波光电导法测定碳化硅少数载流子寿命的方法。
该国家标准适用于少数载流子寿命为 20 ns~200 μs 的碳化硅晶片的寿命测定及质量评价。
起草单位：山东大学、广州南砂晶圆半导体技术有限公司、瀚天天成电子科技(厦门)有限公司、广东天域半导体股份有限公司、泰科天润半导体科技（北京）有限公司、杭州海乾半导体有限公司、安徽长飞先进半导体有限公司、中国科学院半导体研究所、中电化合物半导体有限公司、北京第三代半导体产业技术创新战略联盟
起草人：杨祥龙、崔潆心、彭燕、徐现刚、来玲玲、于国建、冯淦、丁雄杰、秋琪、林云昊、赵海明、钮应喜、金向军、徐瑞鹏
批准发布部门：北京第三代半导体产业技术创新战略联盟
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