T/CASAS 025-2023 8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸
标准名称：8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸
发布日期：2023-06-19
实施日期：2023-06-19
标准编号：T/CASAS 025-2023
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
T/CASAS 025-2023 8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸
标准编号：T/CASAS 025-2023
规范名称：8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸
该国家标准规定了 8 英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸。
该国家标准适用于碳化硅切割片、研磨片和抛光片。
起草单位：山东大学、广州南砂晶圆半导体技术有限公司、瀚天天成电子科技(厦门)有限公司、广东天域半导体股份有限公司、绍兴中芯集成电路制造股份有限公司、泰科天润半导体科技（北京）有限公司、北京第三代半导体产业技术创新战略联盟
起草人：崔潆心、杨祥龙、陈秀芳、徐现刚、来玲玲、于国建、冯淦、丁雄杰、潘国卫、秋琪、徐瑞鹏
批准发布部门：北京第三代半导体产业技术创新战略联盟
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