T/CNIA 0060-2020 多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定 气相色谱法
标准名称：多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定 气相色谱法
发布日期：2020-05-27
实施日期：2020-08-01
标准编号：T/CNIA 0060-2020
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
T/CNIA 0060-2020 多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定 气相色谱法
标准编号：T/CNIA 0060-2020
规范名称：多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定 气相色谱法
本标准规定了多晶硅用氢气中磷化氢含量的气相色谱测定方法。
本标准适用于多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定，测定范围为0.02×10-9~1×10-5（V/V）。
起草单位：宜昌南玻硅材料有限公司、内蒙古神舟硅业有限责任公司
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