T/CNIA 0017-2019 多晶硅用氯硅烷中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
标准名称：多晶硅用氯硅烷中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
发布日期：2019-02-13
实施日期：2019-06-01
标准编号：T/CNIA 0017-2019
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
T/CNIA 0017-2019 多晶硅用氯硅烷中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
标准编号：T/CNIA 0017-2019
规范名称：多晶硅用氯硅烷中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
本标准规定了多晶硅用氯硅烷中杂质(硼、磷、铁、钙、铝、铬、镍、铜、锌、钛、钾、钠)含量的电感耦合等离子体质谱测定方法。
本标准适用于多晶硅用氯硅烷中杂质(硼、磷、铁、钙、铝、铬、镍、铜、锌、钛、钾、钠)含量的测定，测定范围为0μg/L~1000μg/L。
起草单位：新特能源股份有限公司、新疆大全新能源股份有限公司、新疆东方希望新能源有限公司、内蒙古神舟硅业有限责任公司、宜昌南玻硅材料有限公司
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