T/CESA 1081-2020 半导体集成电路制造业 晶圆 绿色工厂评价要求
标准名称：半导体集成电路制造业 晶圆 绿色工厂评价要求
发布日期：2020-06-20
实施日期：2020-06-20
标准编号：T/CESA 1081-2020
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
T/CESA 1081-2020 半导体集成电路制造业 晶圆 绿色工厂评价要求
标准编号：T/CESA 1081-2020
规范名称：半导体集成电路制造业 晶圆 绿色工厂评价要求
起草单位：中国电子技术标准化研究院、北京赛西认证有限责任公司、中芯北方集成电路制造（北京）有限公司、中国电子信息产业发展研究院、中芯国际集成电路制造(天津)有限公司、施耐德电气（中国）有限公司上海分公司
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