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T/IAWBS 003-2017 碳化硅外延层载流子浓度测定_汞探针电容-电压法

T/IAWBS 003-2017 碳化硅外延层载流子浓度测定_汞探针电容-电压法

简介

T/IAWBS 003-2017 碳化硅外延层载流子浓度测定_汞探针电容-电压法

标准编号:T/IAWBS 003-2017

规范名称:碳化硅外延层载流子浓度测定_汞探针电容-电压法

起草单位:中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、瀚天天成电子科技(厦门)有限公司、全球能源互联网研究院、东莞天域半导体科技有限公司、北京天科合达半导体股份有限公司、中国电子科技集团公司第五十五研究所

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