T/IAWBS 002-2017 碳化硅外延片表面缺陷测试方法
标准名称：碳化硅外延片表面缺陷测试方法
发布日期：2017-12-20
实施日期：2017-12-31
标准编号：T/IAWBS 002-2017
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
T/IAWBS 002-2017 碳化硅外延片表面缺陷测试方法
标准编号：T/IAWBS 002-2017
规范名称：碳化硅外延片表面缺陷测试方法
起草单位：中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、全球能源互联网研究院有限公司、瀚天天成电子科技（厦门）有限公司、东莞市天域半导体科技有限公司、北京天科合达半导体股份有限公司、中国电子科技集团公司第五十五研究所、中国电子科技集团公司第二研究所、西安电子科技大学、中国科学院半导体研究所
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