JB/T 6922-2004 真空蒸发镀膜设备
标准名称：真空蒸发镀膜设备
发布日期：2004-10-20
实施日期：2005-04-01
标准编号：JB/T 6922-2004
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
JB/T 6922-2004 真空蒸发镀膜设备
标准编号：JB/T 6922-2004
规范名称：真空蒸发镀膜设备
适用范围：
本标准规定了真空蒸发镀膜设备的型式和基本参数、技术要求、试验方法、检验规则及标增、包装、运输、贮存等要求。本标准适用于极限压力在5×10^(-4)pa～5×10^(-3)Pa范围的真空蒸发镀膜设备。
全国真空技术标准化技术委员会
起草单位：北京北仪创新真空技术有限公司、沈阳真空技术研究所
批准发布部门：国家发展和改革委员会行业分类无
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