GB/T 43748-2024 微束分析 透射电子显微术 集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法
标准名称：微束分析 透射电子显微术 集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法
发布日期：2024-03-15
实施日期：2024-10-01
标准编号：GB/T 43748-2024
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 43748-2024 微束分析 透射电子显微术 集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法
标准编号：GB/T 43748-2024
规范名称：微束分析 透射电子显微术 集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法
该国家标准规定了用透射电子显微镜／扫描透射电子显微镜（TEM/STEM）测定集成电路芯片中功能薄膜层厚度的方法。
该国家标准适用于测定几个纳米以上厚度的集成电路芯片中功能薄膜层。
全国微束分析标准化技术委员会
起草单位：广东省科学院工业分析检测中心、胜科纳米（苏州）股份有限公司、南方科技大学
起草人：伍超群、于洪宇、周鹏、邱杨、程鑫、乔明胜、陈文龙、黄晋华、汪青
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