GB/T 42659-2023 表面化学分析 扫描探针显微术 采用扫描探针显微镜测定几何量：测量系统校准
标准名称：表面化学分析 扫描探针显微术 采用扫描探针显微镜测定几何量：测量系统校准
发布日期：2023-08-06
实施日期：2024-03-01
标准编号：GB/T 42659-2023
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 42659-2023 表面化学分析 扫描探针显微术 采用扫描探针显微镜测定几何量：测量系统校准
标准编号：GB/T 42659-2023
规范名称：表面化学分析 扫描探针显微术 采用扫描探针显微镜测定几何量：测量系统校准
该国家标准描述了用于最高等级几何量测量的扫描探针显微镜（SPM）扫描轴的表征和校准方法，适用于提供进一步校准的测量系统，而不适用于校准等级需求较低的一般工业应用。
全国微束分析标准化技术委员会
起草单位：中国计量科学研究院、西安交通大学、上海市计量测试技术研究院
起草人：李伟、蔡潇雨、程碧瑶、魏佳斯、李适、杨树明、高思田
GB/T 42659-2023 表面化学分析 扫描探针显微术 采用扫描探针显微镜测定几何量：测量系统校准(图)
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