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T/NLIA 002-2021 汽车MEMS压力传感器灌封工艺仿真规范

T/NLIA 002-2021 汽车MEMS压力传感器灌封工艺仿真规范

简介

T/NLIA 002-2021 汽车MEMS压力传感器灌封工艺仿真规范

标准编号:T/NLIA 002-2021

规范名称:汽车MEMS压力传感器灌封工艺仿真规范

起草单位:武汉大学,武汉飞恩微电子有限公司,上达电子(深圳)有限公司,武汉华工激光工程有限责任公司,华中科技大学,中国地质大学(武汉),武汉华工赛百数据系统有限公司,深圳优艾智合机器人科技有限公司,深圳市诚亿自动化科技有限公司,深圳技术大学,武汉科技大学。

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