T/NLIA 002-2021 汽车MEMS压力传感器灌封工艺仿真规范
标准名称:汽车MEMS压力传感器灌封工艺仿真规范
发布日期:2021-04-26
实施日期:2021-06-01
标准编号:T/NLIA 002-2021
标准状态:现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式:PDF电子版
标准编号:T/NLIA 002-2021
规范名称:汽车MEMS压力传感器灌封工艺仿真规范
起草单位:武汉大学,武汉飞恩微电子有限公司,上达电子(深圳)有限公司,武汉华工激光工程有限责任公司,华中科技大学,中国地质大学(武汉),武汉华工赛百数据系统有限公司,深圳优艾智合机器人科技有限公司,深圳市诚亿自动化科技有限公司,深圳技术大学,武汉科技大学。