T/CASAS 004.2-2018 4H碳化硅衬底及外延层缺陷图谱
标准名称：4H碳化硅衬底及外延层缺陷图谱
发布日期：2018-11-20
实施日期：2018-11-20
标准编号：T/CASAS 004.2-2018
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
T/CASAS 004.2-2018 4H碳化硅衬底及外延层缺陷图谱
标准编号：T/CASAS 004.2-2018
规范名称：4H碳化硅衬底及外延层缺陷图谱
起草单位：东莞市天域半导体科技有限公司、全球能源互联网研究院有限公司、中国电子科技集团公司第五十五研究所、中国科学院微电子研究所、株洲中车时代电气股份有限公司、山东天岳晶体材料有限公司、瀚天天成电子科技(厦门)有限公司、山东大学、台州市一能科技有限公司、中国电子科技集团公司第十三研究所、深圳第三代半导体研究院。
*特别声明：资源收集自网络或用户上传，本网站所提供的电子文本仅供参考，请以正式出版物为准。电子文本仅供个人标准化学习、研究使用，不得复制、发行、汇编、翻译或网络传播等。如有侵权，请联系我们处理。