DB35/T 1873-2019 热喷涂旋转硅靶材通用技术条件
标准名称:热喷涂旋转硅靶材通用技术条件
发布日期:2019-12-19
实施日期:2020-03-19
标准编号:DB35/T 1873-2019
标准状态:现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式:PDF电子版
标准编号:DB35/T 1873-2019
规范名称:热喷涂旋转硅靶材通用技术条件
本标准规定了热喷涂旋转硅靶材的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于以高纯硅粉为原料,添加微量物质后,采用等离子喷涂工艺,将硅粉喷涂于不锈钢衬管上的热喷涂旋转硅靶材。
福建省工业和信息化厅
起草单位:福建阿石创新材料股份有限公司、福建省产品质量检验研究院、福建省测试技术研究所、福州允能光电有限公司、福州荣德光电有限公司。
批准发布部门:福建省市场监督管理局行业分类制造业