JJG 989-2004 光栅式测微仪检定规程
标准名称：光栅式测微仪检定规程
发布日期：2004-09-21
实施日期：2004-12-21
标准编号：JJG 989-2004
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
JJG 989-2004 光栅式测微仪检定规程
标准编号：JJG 989-2004
规范名称：光栅式测微仪检定规程
本规程适用于分辨力为0.01μm~1μm，测量范围至100mm的光栅式测微仪的首次检定、后续检定和使用中的检验。
起草单位：中国科学院光电技术研究所、中国测试技术研究院
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