YS/T 28-2015 硅片包装
标准名称：硅片包装
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
标准编号：YS/T 28-2015
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
YS/T 28-2015 硅片包装
标准编号：YS/T 28-2015
规范名称：硅片包装
适用范围：
本标准适用于硅单晶抛光片、外延片、SOI等硅片的洁净包装、硅单晶研磨片(简称硅研磨片)包装和太阳能电池用硅片包装，使其在运输、贮存过程中避免再次沾污和破碎。
全国有色金属标准化技术委员会
起草单位：杭州海纳半导体有限公司、有研新材料股份有限公司、南京国盛电子有限公司等
批准发布部门：工业和信息化部行业分类制造业
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