YS/T 936-2013 集成电路器件用镍钒合金靶材
标准名称：集成电路器件用镍钒合金靶材
发布日期：2013-10-17
实施日期：2014-03-01
标准编号：YS/T 936-2013
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
YS/T 936-2013 集成电路器件用镍钒合金靶材
标准编号：YS/T 936-2013
规范名称：集成电路器件用镍钒合金靶材
适用范围：
本标准规定了集成电路器件用镍钒合金溅射靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及订货单或合同内容。本标准适用于电子薄膜制造用的各类镍钒合金溅射靶材。
全国有色金属标准化技术委员会
起草单位：有研亿金新材料股份有限公司、北京有色金属研究总院等
批准发布部门：工业和信息化部行业分类无
*特别声明：资源收集自网络或用户上传，本网站所提供的电子文本仅供参考，请以正式出版物为准。电子文本仅供个人标准化学习、研究使用，不得复制、发行、汇编、翻译或网络传播等。如有侵权，请联系我们处理。