SJ/T 11451-2013 扩散炉能源消耗规范
标准名称:扩散炉能源消耗规范
发布日期:2013-10-17
实施日期:2013-12-01
标准编号:SJ/T 11451-2013
标准状态:现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式:PDF电子版
标准编号:SJ/T 11451-2013
规范名称:扩散炉能源消耗规范
适用范围:
本标准规定了扩散炉能源消耗指标、计算原则、计算方法和评价原则。本标准适用于电子行业各企业元器件生产运行中的工作温度在400℃~1350℃的扩散/氧化、退火、合金工艺使用的扩散炉。
中国电子技术标准化研究所
起草单位:北京七星华创电子股份有限公司、信息产业部节能监测中心
批准发布部门:工业和信息化部行业分类无