YS/T 791-2012 铂靶
标准名称：铂靶
发布日期：2012-11-07
实施日期：2013-03-01
标准编号：YS/T 791-2012
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
YS/T 791-2012 铂靶
标准编号：YS/T 791-2012
规范名称：铂靶
适用范围：
本标准规定了铂靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及合同或订货单。本标准适用于半导体器件用的各类铂溅射靶材，其他用途的铂靶材也可参照使用。
全国有色金属标准化技术委员会
起草单位：有研亿金新材料有限公司
批准发布部门：工业和信息化部行业分类无
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