JB/T 8945-2010 真空溅射镀膜设备
标准名称：真空溅射镀膜设备
发布日期：2010-02-21
实施日期：2010-07-01
标准编号：JB/T 8945-2010
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
JB/T 8945-2010 真空溅射镀膜设备
标准编号：JB/T 8945-2010
规范名称：真空溅射镀膜设备
适用范围：
本标准规定了真空溅射镀膜设备的基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于压力在1×10-1Pa～1×10-3Pa范围的真空溅射镀膜设备。
全国真空技术标准化技术委员会
起草单位：广东中环真空设备有限公司、成都南光机器有限公司等
批准发布部门：工业和信息化部行业分类无
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