GB/T 40577-2021 集成电路制造设备术语
标准名称：集成电路制造设备术语
发布日期：2021-10-11
实施日期：2022-05-01
标准编号：GB/T 40577-2021
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 40577-2021 集成电路制造设备术语
标准号：GB/T 40577-2021
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：中国电子技术标准化研究院、中电科电子装备集团有限公司、中微半导体设备（上海）股份有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司、浙江晶盛机电股份有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、上海微电子装备（集团）股份有限公司、江苏卓远半导体有限公司
起草人：张军华、冯亚彬、裴会川、朱亮、杜若昕、唐彩红、魏唯、田涛、王宏智、曹可慰、曹建伟、周哲、武小娟、丁晓民、傅林坚、刘英斌、李国平
国家标准《集成电路制造设备术语》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
GB/T 40577-2021 集成电路制造设备术语(图)
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